고순도 희귀가스
희귀가스인 제논(Xe), 크립톤(Kr), 네온(Ne), 헬륨(He)은 공기중에 극미량으로 존재합니다.
공기중 농도는 제논 0.1ppm, 크립톤 1.1ppm, 네온 18.2ppm, 헬륨 5.2ppm 불과하며,독특한 화학적 특성으로
반도체, 디스플레이 및 항공우주에 이르기까지 희귀가스 수요가 빠르게 증가하고 있습니다.
당사는 초저온 증류기술을 활용하여 고순도 희귀가스를 생산합니다.
특수 산업과 첨단 과학 연구분야에서 사용되는 고순도 희귀가스를 엄격한 품질 관리와 자동화 공정을 통해
고객에게 안정적으로 공급합니다.
제논 (Xe)
항공우주 산업에서 이온 빔을 활용한 인공 위성의 이온 추진체에 사용되며, 반도체 3D NAND 메모리 칩 제조의 에칭(Etching) 공정에 사용됩니다. 또한 조명 및 의료용 기기 분야에 걸쳐 전 세계 수요가 증가하고 있습니다.
원자번호 : 54
비점 : -108.1℃
밀도 : 5.89 g/L
상태 : 무색 · 무취의 비활성 기체
크립톤 (Kr)
반도체 플레시 메모리 칩 제조 공정의 어닐링(Anneling), 에칭(Etching) 및 리소그래피(Lithography) 분야에
사용됩니다. 그리고 조명가스로 자동차 헤드라이트 및 네온사인 가스 방전관에 사용되어 조명의 효율을
높이고, 열전달 효과를 이용한 창문의 충진 가스로 에너지를 절약할 수 있습니다.
원자번호 : 36
비점 : -153.4℃
밀도 : 3.75 g/L
상태 : 무색 · 무취의 비활성 기체
네온 (Ne)
엑시머 레이저(Excimer laser)의 작동을 위해 형광 기능으로 가장 많이 사용됩니다. 특히 열을 발생시키지 않고 수백 나노 미터 범위의 깨끗하고 정밀한 절단 작업이 가능하여 눈 수술용 레이저 기기와 같은 의료용 장비와 반도체 제조의 리소그래피(Lithography) 공정에 사용됩니다.
원자번호 : 10
비점 : -246.1℃
밀도 : 0.90 g/L
상태 : 무색 · 무취의 비활성 기체
헬륨 (He)
의료 분야의 자기 공명 장치(MIR), 핵 자기 공명(NMR) 분광법 및 입자 물리학 연구와 같은 분야에서 자석의 초전도 특성을 유지하는데 사용합니다. 또한 높은 열전도율을 이용하여 금속 아크 및 레이저 용접 분야와 광섬유 산업의 냉매가스로도 사용됩니다. 그 밖에 분석 기기의 교정용 가스, 자동차 에어백 팽창 가스 및 다양한 산업 분야에서 누출 감지 가스 역할로도 사용됩니다.
원자번호 : 2
비점 : -268.9℃
밀도 : 0.18 g/L
상태 : 무색 · 무취의 비활성 기체
